真空镀膜技术

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真空状态下金属的物质蒸发原理

作者: admin 时间:2022-04-26 15:05:00 编辑:https://www.polycold.com.cn
摘要:镀膜材料加热到一定温度时就会发生气化现象,也就是由固体状态或液体状态进入到气体状态,在真空条件下物质的蒸发比在常压下容易得多,所需的蒸发温度也大幅度下降,因此熔化蒸发时间可以缩短很多,蒸发效率明显地提高。...

 镀膜材料加热到一定温度时就会发生气化现象,也就是由固体状态或液体状态进入到气体状态,在真空条件下物质的蒸发比在常压下容易得多,所需的蒸发温度也大幅度下降,因此熔化蒸发时间可以缩短很多,蒸发效率明显地提高。

  例如,在一个大气压下,铝必须加热到2400℃才能蒸发,但是如果在10-3Pa的真空条件下只要加热到847℃就可以大量蒸发。

  常用材料的熔化与蒸发温度(蒸气压lPa)

材料名称熔化温度/℃蒸发温度/℃
6601272
15351477
10631397
157957
321271
14101343
16671737
33733227
10841084
2321189
9611027
19001397
420408
14521527
15501462
Al2O320501781
SiO217101760
B2O34501187

  从表中数据可以看出,某些材料如铁、镉、硅、钨、铬、锌等可从固态直接升华到气态,而大多数材料则是先熔化,然后从液相中蒸发。

  一般来说,金属及其热稳定化合物在真空中只要加热到其饱和蒸气压达到IPa以上时,均能迅速蒸发。

  而且除了锑以分子形式蒸发外,其他金属均以单原子形式蒸发进入气相。




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