真空状态下金属的物质蒸发原理

浏览量 :
发布时间 : 2022-04-26

 镀膜材料加热到一定温度时就会发生气化现象,也就是由固体状态或液体状态进入到气体状态,在真空条件下物质的蒸发比在常压下容易得多,所需的蒸发温度也大幅度下降,因此熔化蒸发时间可以缩短很多,蒸发效率明显地提高。

  例如,在一个大气压下,铝必须加热到2400℃才能蒸发,但是如果在10-3Pa的真空条件下只要加热到847℃就可以大量蒸发。

  常用材料的熔化与蒸发温度(蒸气压lPa)

材料名称熔化温度/℃蒸发温度/℃
6601272
15351477
10631397
157957
321271
14101343
16671737
33733227
10841084
2321189
9611027
19001397
420408
14521527
15501462
Al2O320501781
SiO217101760
B2O34501187

  从表中数据可以看出,某些材料如铁、镉、硅、钨、铬、锌等可从固态直接升华到气态,而大多数材料则是先熔化,然后从液相中蒸发。

  一般来说,金属及其热稳定化合物在真空中只要加热到其饱和蒸气压达到IPa以上时,均能迅速蒸发。

  而且除了锑以分子形式蒸发外,其他金属均以单原子形式蒸发进入气相。


推荐新闻
更多 >>
芯片行业对检测仪器的依赖? 芯片行业对检测仪器的依赖?
06 .02.2026
在半导体芯片制造领域,检测仪器扮演着至关重要的"质量守门人"角色。随着芯片工艺复杂度不断提升,特别是在AI芯片快速发展的背景下,检测设备已成为确保芯片性能和质量不可或缺的关键环节。
真空镀膜机维修注意事项? 真空镀膜机维修注意事项?
03 .25.2026
维修前必须关闭设备总闸并悬挂警示牌,确认腔体完全恢复常压后才能开启设备盖板
2026第九届深圳国际真空技术及设备展览会 2026第九届深圳国际真空技术及设备展览会
12 .17.2025
真空技术作为高端制造的 “隐形基石”,贯穿半导体芯片制程、新能源电池制备、航空航天器件研发等核心环节,其技术水平直接决定产品性能与精度。粤港澳大湾区作为全球电子信息、新能源、高端装备制造的核心集群,此...
车灯真空镀膜机的核心技术 车灯真空镀膜机的核心技术
10 .23.2025
在汽车制造领域,车灯作为重要的安全与外观部件,其表面处理工艺直接影响性能与耐用性。真空镀膜技术凭借其优异的成膜质量和稳定性,已成为车灯制造的关键工艺之一。