首先检查真空容器所处状态，处于真空下或者处于大气中。决定了两种启动真空设备的程序：第一种，真空下操作程序。第二种，大气状态下操作程序。
1、如果容器处于低真空状态下，不能立即打开闸板阀以免引起真空油的回流。
正确的操作步骤是先打开水龙头，然后打开机械泵，同时打开真空计电源，观察真空计读数到达30Pa左右时，再打开分子泵，看到分子泵的工作频率达到50Hz左右时方可打开闸板阀。
2、如果容器处于大气下，首先要做的是检查大漏，即关闭容器大门和放气阀。然后打开水龙头，闸板阀，机械泵，真空计电源，观察真空计读数到达30Pa左右时，再打开分子泵。
3、等到分子泵正常工作后(工作频率稳定在450Hz)，按下真空计中电离计单元的启动键对真空度进行观测。
4、在真空达到 Pa时可以打开离子泵，此时先关闭分子泵处的闸板阀，但不要关闭分子泵，等到离子泵的电压达到4000V时(离子泵稳定工作后)再关掉分子泵，机械泵。
5、如果不需要维持真空时，先关掉真空计电源，后只需要把离子泵的闸板阀关闭即可，不关闭离子泵，而是让离子泵处于工作状态保持其内部环境。
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