确实空镀膜机呈现毛病后应首要要向使用者了解毛病的表象，然后要亲身开机调查毛病，这样才干更精确、更快、更合理的排除毛病。
首要排除毛病应先检查低真空是不是正常(机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸腾室)，低真空正常后再开主泵，主泵作业正常后检查下室真空中是不是正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检查检漏，直至达到作业真空，极限真空、保真空、康复真空，如极限真空和保真空正常，而康复真空和作业真空不正常则也许主泵有疑问。
以下列举常见故障及维修方法：
一、当正在镀膜时真空度突然下降
1、蒸腾源水路胶圈损环(替换胶圈)
2、坩埚被打穿(替换坩埚)
3、高压电极密封处被击穿(替换胶圈)
4、工滚动密封处胶圈损坏(替换胶圈)
5、预阀俄然封闭也许是二位五通阀损坏(替换二位五通阀)
6、高阀俄然封闭也许是二位五通阀损坏(替换二位五通阀)
7、机械泵停机也许是继电器断开(检查继电器是不是作业正常)
8、烘烤引进线电极密封处被击穿(替换胶圈)
9、挡板动密封处胶圈损坏(替换胶圈)
10、玻璃调查视镜呈现裂纹、迸裂(替换玻璃)
二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：
1、蒸腾室有许多粉尘(应清冼)
2、分散泵好久未换油(应清冼换油)
3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油)
4、各动密封胶圈损坏(替换胶圈)
5、因为蒸腾室长时刻温度过高使其各密封胶圈老化(替换胶圈)
6、蒸腾室各引进水路密封处是不是有胶圈损坏(替换胶圈)
7、各引进座螺钉、螺母有无松动表象(从头压紧)
8、高低预阀是不是密封牢靠(注油)
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