真空泵选型注意事项

　　选择合适的真空泵，将成为我们的日常生产中非常重要的一环，本文讲述了真空泵选型的最基本知识：

　　选用真空泵时，首先应该注意本次选购真空泵的最主要的要求、本次最注重的性能是什么，在泵满足这一点后再去考虑其他的一些选型要求。一般在选型时，需要注意到以下事项：

　　1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5 mBar的真空度，选用的真空泵的极限真空度应≤5×10-6 mBar。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

　　2、正确地选择真空泵的工作真空度。每种泵都有一定的工作压强范围，如：SVF-E1-20的极限真空度为0.1mBar，其稳定的工作压强范围为1.0mbar至0.5mbar，因而，泵的工作点应该选在这个范围内。

　　3、真空泵在其工作压强下，应能在规定的时间内排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量，这就需要在一定程度上考虑真空泵在带有负载的前提下的抽气速率。

　　4、根据所抽介质地不同，有选择性地选用真空泵。若一种泵不能满足抽气要求进，也可考虑多种泵组合起来的方式。如SVF-E1-20抽无油空气和抽氦气时的抽气速率曲线不同，所以在考虑真空泵时，应充分考虑所抽介质的特性。

　　5、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性、毒性等。选择真空泵时，需要知道所抽气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果是有腐蚀性气体，那么泵的腔体材料应该选用防腐蚀材料;如果是带毒性气体，真空泵还需要考虑泄露率的问题，以避免毒性气体泄漏而造成工业事故。含可凝蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，也可以考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

　　6、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、无油涡旋泵、无油螺杆泵等，如果设备对水蒸气、粉尘等也有严格要求时，就要选择无油干泵，比如涡旋干泵、螺杆干泵、分子泵等。如果要求不严格时，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

　　7、真空泵对环境的影响。环境不允许有任何油污染，可以选用无油真空泵;环境不允许有粉尘污染，可选用无磨屑产生的泵，如浮动式涡旋泵、无油隔膜泵等;环境不允许有噪声污染，可选用静音泵。

　　8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

　　9、成本因素。真空泵的成本应考虑一次性的采购成本以及综合使用成本。一次性成本，包括真空泵本身的成本、周边管路配套的成本;综合使用成本，包括日常运行维护成本、维修成本以及使用寿命成本。

　　10、其他特殊要求。主要包括，交直流电源、功耗、重量、体积、电控、散热、气体管路连接以及各行业针对性的要求。

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