1、真空泵在运行的时候，要注意控制轴承温度，尽量把轴承温度控制在35摄氏度以内。如果发现真空泵有异常声响，要及时检查原因。并定期检查轴承的磨损情况，如果已经磨损较大，一定要及时更换。
2、使用真空镀膜机真空泵的第一个月内，经过一百小时以后就要更换润滑油，以后在五百小时换一次油就可以了。
3、可以向轴承体内加入轴承润滑机油，这也是一个比较简单的保养方式。要保证油位在油标的中心线处，润滑油也要及时更换和补充。
4、在真空泵出现的问题的时候，也可以点动电机，看看电机转向是否正确，这也是一种简单有效的检修方式。如果开动电机，真空泵已经可以正常运转，先打开出口压力表，观察并等其显示出适当的压力以后，再逐渐打开闸阀，并同时检查电机的负荷情况。
5、可以先检查旋片真空机组管路以及结合处，观察其是否存在松动的情况。还可以用手转动真空泵来测试真空泵是否还灵活。
6、在使用机器的时候，为了保证真空泵在合理的效率点运转，要尽量控制真空泵的流量和扬程，不要超过标注的范围，这样才可以产生尽可能多的节能效果。
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